[별난 일 별난 사람들] (1) 삼성전자 ‘먼지 박사’ 김진성 수석
2000년초 어느 토요일. 경기 용인시 기흥 삼성전자 반도체 생산라인이 발칵 뒤집혔다. 막질에 먼지가 들러붙어 불량품이 속출했기 때문이다. 기술자들이 한꺼번에 달려들어 두세시간을 끙끙댔지만 도대체 어디서 먼지가 오는지 도통 알 수 없었다. 남은 희망은 하나뿐이었다.‘먼지박사’에게 SOS(긴급 구조신호)를 치는 것이었다. 숨넘어가는 전화를 받고 한걸음에 달려온 먼지박사. 잠시후 믿기지 않는 일이 벌어졌다. 그가 가리킨 대로 웨이퍼(동그란 와플 모양의 얇은 원판)를 뒤집어 보니 무수한 먼지가 쏟아지고 있었다.‘먼지 소굴’을 찾아내는 데 걸린 시간은 겨우 30분이었다.
● 여의도공원 6배 면적에 먼지 한톨 상태로 관리
“현장에 도착해 제가 맨먼저 한 일은 먼지를 들여다본 것이었습니다. 일정한 모양새를 갖고 있더군요. 그래서 공정의 문제라고 직감했지요. 예상대로 설비 조립이 잘못돼 웨이퍼 뒷면에서 앞면으로 먼지가 생겨나고 있었습니다.” 김진성(44) 삼성전자 메모리제조센터 수석의 회고다. 바로 그 먼지박사다. 그에게 있어 최근 며칠은 2000년과는 비교도 안될 만큼 숨넘어가는 순간이었다.‘정전사고’ 때문이다. 전원 공급이 끊기면서 공기가 역류해 순식간에 온갖 먼지가 침투했다.“사흘밤낮을 매달린 끝에 완벽하게 사고 이전 상태로 되돌렸다.”는 김 수석은 8일 “바깥에서는 아직도 의심하는 시선이 있지만 이는 삼성의 힘을 몰라서 하는 얘기”라고 잘라말했다.
그런데 그가 말하는 먼지라는 게 ‘예삿놈’이 아니다. 머리카락 굵기의 10만분의1(나노 크기)밖에 안된다. 육안으로는 보이지도 않는 적과 싸워 그는 서울 여의도공원의 여섯배 면적을 먼지 한 톨 상태로 관리한다.
● ‘불량 주범´ 먼지 반도체에 치명적
먼지는 불량 반도체를 야기하는 주범이요, 불량은 생산성을 낮추는 주범이다. 삼성전자가 김 수석을 자체 ‘명예박사’로 선정하며 떠받드는 이유다.
“막질 표면을 씻어내는 물, 공정에 투입되는 화학연료, 패턴을 뜨는 가스, 작업장 내의 사람 등 먼지가 오는 경로는 수없이 많다.”는 김 수석은 “어떤 먼지가 어디서 어떻게 왜 나왔는지 얼마만큼 빨리 알아 내느냐가 반도체 수율(收率·정상제품을 얻어내는 비율)을 결정짓는다.”고 강조했다.
이번 정전사고 때처럼 이미 생긴 먼지를 없애는 것도 중요하지만 처음부터 아예 안 생기게 하는 것이 더 중요하다고도 했다.
먼지와의 인연은 회사에서 1993년 미국 미네소타대학에 연수를 보내주면서 시작됐다. 먼지 테크놀로지를 1년간 공부하고 돌아와 94년 10월부터 먼지 일만 해왔다. 벌써 13년째다.
그는 “갈수록 작아지는 먼지와의 싸움에서 이기려면 기필코 먼지를 찾아 내겠다는 근성, 그리고 이 일이 너무 좋다는 열정이 있어야 한다.”고 했다. 그제서야 “먼지에도 표정이 있다.”는 그의 말이 어떤 의미인지 다가왔다.“고해상도로 먼지를 들여다 보고 있으면 화난 놈, 약올리는 놈, 웃는 놈, 표정이 다양합니다. 아찔할 정도로 아름다운 놈도 있어요.”
안미현기자 hyun@seoul.co.kr